真空镀膜机

精密光学溅射系统

产品分类:真空镀膜机
点击次数:1111
发布时间:2019-07-18
分享到:
产品详情

应用范围:

    

    各种光学膜:AR/UV/IR截止滤光片、AF、AR膜、硬质膜、增强反射膜、带通滤光片、RGB滤光器、HR膜等;  数码产品外壳装饰镀膜:如手机炫光、渐变色镀膜等   

   

 

   

 

 

产品特点:

    配置不同的靶和电源及膜厚仪可镀多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可,并可在玻璃表面超硬镀膜。

   全自动装卸和镀膜工艺控制,减少人为的误操作,保证高端产品的高质量和一致性,大大提高生产效率和镀膜产品附加值,为用户创造最大价值。

 

 

精密光学溅射系统参考选型

项目

技术指标

 

型号 

KOSS-16

KOSS-24

腔体

Ø1600×H800mm

Ø2400×H1000mm

工件架转速

0~150RPM(可变)

 

成膜室抽速

3.0×10-3 Pa≤30min

 

极限真空度

8.0×10-5Pa

 

镀膜系统

DC、MF或RF磁控溅射源+等离子体源

 

溅射靶材

C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 等

 

膜厚控制

晶控或光控

 

控制系统

工控电脑+触摸屏