Product type
应用范围:
各种光学膜:AR/UV/IR截止滤光片、AF、AR膜、硬质膜、增强反射膜、带通滤光片、RGB滤光器、HR膜等; 数码产品外壳装饰镀膜:如手机炫光、渐变色镀膜等
产品特点:
配置不同的靶和电源及膜厚仪可镀多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可,并可在玻璃表面超硬镀膜。
全自动装卸和镀膜工艺控制,减少人为的误操作,保证高端产品的高质量和一致性,大大提高生产效率和镀膜产品附加值,为用户创造最大价值。
精密光学溅射系统参考选型
项目 | 技术指标 | |
型号 | KOSS-16 | KOSS-24 |
腔体 | Ø1600×H800mm | Ø2400×H1000mm |
工件架转速 | 0~150RPM(可变) | |
成膜室抽速 | 3.0×10-3 Pa≤30min | |
极限真空度 | 8.0×10-5Pa | |
镀膜系统 | DC、MF或RF磁控溅射源+等离子体源 | |
溅射靶材 | C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 等 | |
膜厚控制 | 晶控或光控 | |
控制系统 | 工控电脑+触摸屏 |