真空镀膜机

硬质涂层镀膜机

产品分类:真空镀膜机
点击次数:561
发布时间:2019-07-18
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产品详情

应用范围:

    

    各种工具(铣刀、钻头、拉刀、齿轮刀、丝锥等),精密模具和其他表面硬质镀膜处理

 

   

产品特点:

   优化的磁场和电场设计。集成HIPIMS和CVD技术,薄膜致密光滑,兼具高硬度和高韧性,同基底结合力高。

 

 

硬质涂层镀膜机参考选型

 

项目

技术指标

  

型号 

KSL -1200

KSL- 1600

KSL -2000

腔体

Ø1200×H800mm

Ø1600×H1000mm

Ø2000×H1200mm

工件架转速

0~60RPM(可变)

  

成膜室抽速

3.0×10-3Pa≤30min

  

极限真空度

8.0×10-5Pa

  

镀膜系统

DC、MF或RF磁控溅射源 

  

溅射靶材

C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各种化合物等 

  

膜厚控制

晶控或光控

  

控制系统

工控电脑+触摸屏