真空镀膜机

电子枪蒸发光学镀膜机

产品分类:真空镀膜机
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发布时间:2019-07-18
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产品详情

应用范围:

    

   精密光学薄膜、电学薄膜。如滤光片、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜等各种膜系,能够实现0-200层膜的膜系镀膜。

 

   

  

   

产品特点:

   配置高精密的电子枪和离子源。集成电阻蒸发,镀膜工艺和膜厚自动控制,薄膜质量稳定 。 

 

 

电子枪蒸发光学镀膜机参考选型

 

项目

技术指标



型号 

KVE- 1320

KVE -1600

KVE-2000

腔体

Ø1320×H1200mm

Ø1600×H1300mm

Ø2000×H1400mm

工件架转速

0~60RPM(可变)



成膜室抽速

3.0×10-3Pa≤30min



极限真空度

8.0×10-5Pa



镀膜系统

电子枪蒸发 、电阻蒸发



溅射靶材

C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各种化合物等 



膜厚控制

晶控或光控



控制系统

工控电脑+触摸屏