Product type
应用范围：
精密光学薄膜、电学薄膜。如滤光片、增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜等各种膜系，能够实现0-200层膜的膜系镀膜。
产品特点：
配置高精密的电子枪和离子源。集成电阻蒸发，镀膜工艺和膜厚自动控制，薄膜质量稳定 。
电子枪蒸发光学镀膜机参考选型
项目 | 技术指标 | ||
型号 | KVE- 1320 | KVE -1600 | KVE-2000 |
腔体 | Ø1320×H1200mm | Ø1600×H1300mm | Ø2000×H1400mm |
工件架转速 | 0~60RPM（可变） | ||
成膜室抽速 | 3.0×10-3Pa≤30min | ||
极限真空度 | 8.0×10-5Pa | ||
镀膜系统 | 电子枪蒸发 、电阻蒸发 | ||
溅射靶材 | C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各种化合物等 | ||
膜厚控制 | 晶控或光控 | ||
控制系统 | 工控电脑+触摸屏 |
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