真空镀膜机

连续型镀膜生产线

产品分类:真空镀膜机
点击次数:627
发布时间:2019-07-18
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产品详情

应用范围:

    

   LOW-E、电致变色等建筑玻璃行业。CIGS、碲化镉、晶体硅等新能源行业。平板显示、触控面板、手机前后盖等消费电子行业。

  

 

 

产品特点:

• 大面积镀膜,多室多靶位,灵活性大;

• 磁导向传输系统,平稳可靠;

• 镀膜前有离子源对基片进行表面清洗和活化,提高附着力,改善膜层质量;

• 真空室加Polycold捕集水蒸汽,提高抽气能力;

• 便于维修的侧装分子泵和全开式真空室门;

• 自行开发的方便的用户易操作控制软件;

• 工件架识别系统运用,工艺质量有可追溯性;

• 真空室的模块式设计,单点定位,便于拆装。 

连续型镀膜线参考选型

 

项目

技术指标

极限真空度

8.0×10-4Pa

基片尺寸

不限

镀膜系统

DC、MF或RF磁控溅射源 ;PECVD

溅射靶材

C、Si 、Nb、Cr、Al、Ti 和各种化合物等

生产节拍

30秒---180秒

控制系统

工控电脑+触摸屏