OLED装备
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团簇式中式蒸镀机

产品分类:OLED装备
点击次数:907
发布时间:2019-07-18
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产品详情

应用范围:

    

   OLED显示等行业的薄膜沉积

 

   

    

 

产品特点:

    多腔室团簇分布,中心为传输室(TM),四周为工艺室(PM)和基板进出室,可在真空中循环完成有机物薄膜和电极薄膜的沉积。