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Product type
应用范围:
OLED显示等行业的薄膜沉积
产品特点:
多腔室团簇分布,中心为传输室(TM),四周为工艺室(PM)和基板进出室,可在真空中循环完成有机物薄膜和电极薄膜的沉积。
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